高純雙氧水是半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵濕電子化學(xué)品，主要應(yīng)用于晶圓清洗、蝕刻等核心工藝環(huán)節(jié)。其作用機(jī)理是通過(guò)強(qiáng)氧化性分解有機(jī)污染物、去除金屬離子，并與其他化學(xué)品（如硫酸）復(fù)配使用，確保晶圓表面潔凈度。隨著半導(dǎo)體工藝向7nm、5nm及以下先進(jìn)制程發(fā)展，對(duì)雙氧水的純度要求會(huì)更加苛刻，任何微量有機(jī)碳污染都可能導(dǎo)致晶圓缺陷，直接影響芯片性能和良率。

其中總有機(jī)碳（TOC）是衡量雙氧水純度的核心指標(biāo)，有機(jī)碳?xì)埩魰?huì)導(dǎo)致晶圓表面顆粒污染、短路或氧化層缺陷。高TOC值可能引發(fā)批次性生產(chǎn)事故，需通過(guò)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)確?；瘜W(xué)品符合相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)。同時(shí)，精準(zhǔn)的TOC檢測(cè)可減少因污染導(dǎo)致的晶圓報(bào)廢，降低生產(chǎn)成本。

因此，準(zhǔn)確測(cè)試雙氧水中有機(jī)雜質(zhì)的含量既符合半導(dǎo)體行業(yè)工藝過(guò)程控制要求也滿足企業(yè)對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量控制的要求，同時(shí)也是企業(yè)成本優(yōu)化，降本增效的的前提和保障，意義重大。

雙氧水TOC測(cè)試要點(diǎn)

測(cè)試基體：雙氧水

測(cè)試目的：保證重復(fù)性和準(zhǔn)確性的條件下自動(dòng)進(jìn)樣測(cè)試雙氧水中TOC含量

耶拿雙氧水TOC分析方案

德國(guó)耶拿multi N/C 3300系列總有機(jī)碳分析儀，基于燃燒法氧化消解原理，具備的完整消解能力，可在高達(dá)950 ℃的燃燒系統(tǒng)溫度下氧化消解，保證樣品的消解，即便的碳氮化合物也可氧化轉(zhuǎn)化。能有效地消解顆粒物含量高和含鹽量高的水樣。VITA技術(shù)，可分析性能；免維護(hù)的Peltier干燥器，無(wú)需化學(xué)干燥劑，確保分析過(guò)程方便可靠。

德國(guó)耶拿multi N/C 3300系列總有機(jī)碳分析儀用于測(cè)試雙氧水中TOC含量的解決方案構(gòu)成如下圖所示。主要由用于自動(dòng)進(jìn)樣的多位自動(dòng)進(jìn)樣器，用于樣品消解和測(cè)試的multi N/C 3300總有機(jī)碳分析系統(tǒng)。

說(shuō)明：

通過(guò)多位自動(dòng)進(jìn)樣器將計(jì)量好的雙氧水

樣品送入消解系統(tǒng)

進(jìn)入消解系統(tǒng)的樣品，高溫催化氧化消解

氧化消解產(chǎn)生的氣體，經(jīng)凈化進(jìn)入NDIR

檢測(cè)器，最終輸出TOC含量

multi N/C 3300總有機(jī)碳分析儀主機(jī)

自動(dòng)進(jìn)樣器

multiWin pro智能化軟件

應(yīng)用案例

1）樣品

     半導(dǎo)體行業(yè)濕電子化學(xué)試劑雙氧水。

2）方法及方法參數(shù)

    樣品直接進(jìn)樣，使用multi N/C 3300總有機(jī)碳分析儀搭配72位自動(dòng)進(jìn)樣器進(jìn)行測(cè)試，測(cè)試時(shí)由自動(dòng)進(jìn)樣器自動(dòng)酸化、吹掃后將樣品自動(dòng)送入氧化消解系統(tǒng)氧化消解，并完成純化，生成的二氧化碳最終由NDIR檢測(cè)器檢測(cè)。

方法參數(shù)

3） 校準(zhǔn)曲線

    采取不同濃度同一進(jìn)樣體積進(jìn)樣繪制校正曲線（也可以采用同一濃度，不同進(jìn)樣體積繪制）。相關(guān)系數(shù)0.99997，線性良好。

雙氧水TOC含量測(cè)試校準(zhǔn)曲線

4）雙氧水中TOC含量的測(cè)試結(jié)果

方案優(yōu)勢(shì)